Model LumaSense UV 400 a 400 UVR jsou další generací systéů teplotních čidel vyvinutých speciálně pro GaN založené na MOCVD procesech epitaxí.

Klíčové vlastnosti

Měření teploty přímo na GaN vrstvě za použití vlnových délek ultrafialového záření Poskytuje široký rozsah teplot (650 … 1300 ° C), který umožňuje pokrytí obou hlavních oblastí růstu krystalu a růstu MQW Minimalizaci šumu při měření pomocí skutečého počítání fotonů. Zachycuje /měří odraz v reálném čase pomocí zdroje rychle pulzující osvětlení. Zahrnuje 2 typy rozhraní: Analogový výstup a RS485 s protokolem UPP. LumaSense vytvořil první pyrometr s integrovaným reflektometrem (TR 100) v roce 2001, kterou se stanovil nový průmyslový standard aktivní korekce zářivosti pomocí vlnové délky 950 nm a optiky na konci optického vlákna. Naše výhody v senzorech safírových trubic in-situ kalibračních zdrojích poskytují kompletní řešení pro měření teploty. UV 400 a 400 UVR tedy umožňují přímé měření teploty povrchové teploty waferu na místo tradičních postupů měření teploty “v kapse” Tento zlepšený systém měření tedy stanovuje nový standart a umožňuje přesnější kontrolu teploty waferu, což vede k zlepšení výkonnosti zařízení. Tyto systémy jsou stanoveným novým standardem pro LED výrobní procesy a výsledky ukazují spolehlivou korelaci mezi teplotou procesu a vlnovými délkami na finálním produktu.

Výhody

• Zlepšit výnos prostřednictvím přesného správného měření teploty
• Získání spolehlivých teplot waferu s PL korelací vlnových délek vlnových délek korelace
• Zabránit reziduí kolísání teplot, jak je vidět v NIR zářivosti kompenzací pyrometrů
• Uvědomte si, kontinuální měření odrazu v reálném čase
• Zabránit údaje zkreslit v důsledku zpomaleného vzorku (ne závěrky zapnutí a vypnutí)
• Poskytuje kompletní řešení pro řízení teploty v reaktoru s PhotriX a soustřednými možností Lightpipe