Leptání
LumaSense je předním dodavatelem systémů z optických vláken pro sledování teploty elektrostatického upínacího pouzdra v leptacích systémech. Naše nástroje nabízejí přesnost nutnou pro nové a nastávající nároky na menší šíři linky, rychlé vzorkovací frekvence zvyšující výkonnost výroby substrátových disků (waferů) a vysokoteplotní rozsah splňující požadavky leptacího stroje. Dále nabízíme sondu „Mix and Match“ a elektronické moduly i vlastní sondy. Máme více jak 25 let zkušeností s integrací teplotních nástrojů z optických vláken do náročných polovodičových aplikací.
Výzva
Dodavatelé leptacího zařízení se musí vyrovnávat s menšími šířkami linky, vyšším výkonem a nároky na spolehlivost. Společnost LumaSense nabízí ty správné produkty i lidi, kteří reagují na překotný vývoj i náročné úkoly konstrukce. Pyšní se více jak 25letou zkušeností se zajišťováním nástrojů pro sledování teploty z optických vláken v oboru leptání.
Naše řešení
LumaSense přináší dvou- a čtyřkanálové OEM moduly série m822 a m600 s bezkontaktními sondami Accudisc a mnoha rozličnými kontaktními sondami pro sledování teploty elektrostatického upínacího pouzdra. Jsme s to sondy upravit podle vašeho konkrétního použití a rovněž vám nabízíme podporu při technické realizaci.
Spojte se prosím s námi. Poskytneme vám o různých sondách pro leptání více informací.
Výhody pro vás
- Vysoká přesnost a teplotní rozsah pro různé leptací procesy
- Rychlá vzorkovací frekvence zvyšuje kapacitu výroby substrátových disků (waferů).
- Vysoká přesnost pro nízkou poruchovost
- Zajištění vlastních sond upravených na váš proces a vaše zařízení
- Vysoce zkušená technická i servisní podpora
