Epitaxe pravděpodobně patří k nejdůležitějším procesům v oblasti složených polovodičů. Při tomto procesu je potřeba zajistit přesnou regulaci teploty substrátových disků (waferů). Ta má totiž přímý vliv na výnosy.

LumaSense se pyšní rozsáhlými zkušenostmi v této oblasti. Některé z našich ovladačů M100 se stále ještě používají ve starších reaktorech MOCVD. LumaSense je průkopníkem v odvětví pyrometrů s korekturou emisivity (ECP) a byla první společností, jež v roce 2002 uvedla na trh první komerční ECP (TR100) pro MOCVD. Jeho využití optických vláken je etalonem ve svém oboru. Pozdějším řešením od společnosti LumaSense pro GaN na safíru nebo SiC (T 400/UV 400) byl první UV pyrometr, který se osvědčil u výrobců komerčních nástrojů při výrobě LED čipů založených na GaN. LumaSense nabízí nástroje jak pro MOCVD, tak pro epitaxi z molekulárních svazků (MBE). Lze je uzpůsobit konkrétním potřebám.